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          探針臺


          探針臺用于對我所自行研制的基于碳材料的納米半導體器件進行輔助分析。例如生物、化學、壓力、光學傳感器的電流-電壓信號測試、三極管特性曲線測量等,探針臺是半導體參數測試必備和重要的組成部分。尤其是對于納米器件而言,對探針臺的質量和精度要求更加苛刻,比如顯微鏡的放大倍數至少得100倍以上、探針移動精度在微米級別等。它是用數據線與測試臺連接,共同來完成對器件性能的檢測,探針臺主要包括顯微鏡,樣品載物臺,定位針座,測試儀連接電纜和接口,屏蔽箱等。工作時,通過針座將探針直接接觸電極表面,將電信號傳給測試儀進行測試,其主要功能是電信號的采集、輸入、輸出,是具有獨立功能的電氣設備。

          主要技術參數如下:
          ​​

          項目

          名稱 描述

          1

          探針臺體

          *4英寸載物平臺,X-Y移動行程4英寸x4英寸
          *Y方向可快速抽出,方便取放樣品
          *無回差線性移動
          *工作臺面可線性快速升降6毫米,精調慢速升降25毫米
          *顯微鏡平臺移動行程1英寸x1英寸

          2

          顯微鏡

          *目鏡放大倍率:20倍
          *連續變焦范圍 0.8~5倍
          *總放大倍率:16-100倍
          * Z軸方向的調節范圍為50.8mm
          *環形白色照明光源

          3

          磁開關針座

          * X-Y-Z線性移動范圍12mmX12mmX12mm
          *無回差線性移動
          *牙距 80牙/英寸
          *移動分辨率1微米
          *磁性開關吸附底座

          4

          探針桿

          *管狀探針夾具,1.5米三同軸電纜&接頭
          *帶仰角傾斜機構

          5

          直流探針

          *直徑10微米,硬質鎢針
          *1.26英寸長
          *10根/盒

          6

          屏蔽箱

          *BD-4探針臺專用屏蔽黑箱
          *880毫米長*710毫米寬*1140毫米高

          7

          三同軸轉接頭

          *三同軸母頭轉三同軸母頭

          8

          真空泵

          *7升/分鐘的抽速




































           

           

           

           

           
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